三菱製紙株式会社 機能材開発事業部

 
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エマルジョンマスク用自動現像機

コンパクトかつ高品位 〜 省スペース・省液・省力化と同時に処理均一性を大幅に改善
Compact & High Quality 〜 Saves Space, Chemical,
Labor and Improves Process Uniformity


エマルジョンマスク用自動現像機 EL-GP Automatic Processor for Emulsion Mask EL-GP

エマルジョンマスク用自動現像機 LE-GPU

対応マスクサイズ:最大28×32インチ
(711×813mm)

6槽の処理槽・ローダ/アンローダ間にエマルジョンマスクを移動させる搬送用ロボットと、自動液補充システムを備えたガラスマスク用自動現像装置です。タッチパネルを用いて処理条件の設定が可能です。

ローダには5枚(標準)のエマルジョンマスクの収納が可能です。ローダにセットすると、自動で連続処理します。

独自の処理制御システムにより面内の現像処理の均一性を実現し、かつ複数モードの液補充システムの採用で安定した処理再現性を実現できます。

従来の常識を打ち破る超コンパクト設計で、小サイズのクリーンルーム内に設置可能です。描画機に隣接するなどワークフローを大幅に改善できます。省液化により、廃液量も減少し、環境に優しい現像装置です。


● 優れた面内処理均一性 Excellent Process Uniformity

● 安定した処理再現性 Stable Process Reproducibility

● 省スペース・省液・省力 Save Space, Chemicals and Labor


<新発売> EL−GPUの特徴

サイズ

幅2,200mm×長さ3,000mm×高さ2,600mmの超コンパクト設計

対応最大ワークサイズ

711mm(28インチ)×813mm(32インチ)

処理方式

カセット式ローダ・アンローダ(標準5枚)を装備し、2アーム搬送系で連続同時処理により、タクトタイムの短縮を実現

タクトタイム

ハイレゾリューション型エマルジョンマスクを約10分間隔で連続処理可能

処理制御

自動処理条件管理システムにより処理条件を一定に制御し、自動補充システムで液を常に一定状態に維持することにより、優れた面内安定性・処理安定性を実現

処理槽容量

約50L

製品ラインナップ
EL−GPT
サイズ(本体) 幅1,200mm×長さ1,950mm×高さ2,090mm
対応最大ワークサイズ 508mm(20インチ)×610mm(24インチ)
処理方式 1アームバッチ処理
タクトタイム 20〜25分/枚
処理制御 自動処理条件管理システム・自動補充システム
処理槽容量 約30L
エマルジョンマスク用自動現像機 EL-GPT
EL−GPU (新発売)
サイズ(本体) 幅2,200mm×長さ3,000mm×高さ2,600mm
対応最大ワークサイズ 711mm(28インチ)×813mm(32インチ)
処理方式 カセット式ローダ・アンローダ(標準5枚)を装備し、2アーム搬送系で連続同時処理により、タクトタイムの短縮を実現
タクトタイム 約10分/枚
処理制御 自動連続処理システム・自動処理条件管理システム
自動補充システム
処理槽容量 約50L
エマルジョンマスク用自動現像機 EL-GPU
処理均一性
自動現像機処理品   皿現像処理品
自動現像機処理品 光学濃度(OD) 皿現像処理品
光学濃度(OD)
使用感材 ・・・ ハイレゾリューションフォトプレート(508×610mm)
使用機器 ・・・ EL−GPT
評価方法 ・・・ レーザープロッターで全面露光し, 感材の有効領域内の光学濃度の面内分布で評価
現像条件 ・・・ 現像時間 5分, 現像温度 22℃
※皿現像処理では処理中常に手動でプレートを揺動

三菱製紙株式会社 電材ビジネスユニット
〒300-4247 茨城県つくば市和台46 TEL 029-864-3530
E-Mail : denzai@mpm.co.jp
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