三菱製紙株式会社　電子材料関連　エマルジョンマスク用自動現像機

コンパクトかつ高品位　～　省スペース・省液・省力化と同時に処理均一性を大幅に改善
Compact & High Quality ～ Saves Space, Chemical,
Labor and Improves Process Uniformity

対応マスクサイズ：最大２８×３２インチ
（７１１×８１３ｍｍ）

６槽の処理槽・ローダ／アンローダ間にエマルジョンマスクを移動させる搬送用ロボットと、自動液補充システムを備えたガラスマスク用自動現像装置です。タッチパネルを用いて処理条件の設定が可能です。

ローダには５枚（標準）のエマルジョンマスクの収納が可能です。ローダにセットすると、自動で連続処理します。

独自の処理制御システムにより面内の現像処理の均一性を実現し、かつ複数モードの液補充システムの採用で安定した処理再現性を実現できます。

従来の常識を打ち破る超コンパクト設計で、小サイズのクリーンルーム内に設置可能です。描画機に隣接するなどワークフローを大幅に改善できます。省液化により、廃液量も減少し、環境に優しい現像装置です。

＜新発売＞ＥＬ－ＧＰⅡの特徴
サイズ	幅２，２００ｍｍ×長さ３，０００ｍｍ×高さ２，６００ｍｍの超コンパクト設計
対応最大ワークサイズ	７１１ｍｍ（２８インチ）×８１３ｍｍ（３２インチ）
処理方式	カセット式ローダ・アンローダ（標準５枚）を装備し、２アーム搬送系で連続同時処理により、タクトタイムの短縮を実現
タクトタイム	ハイレゾリューション型エマルジョンマスクを約１０分間隔で連続処理可能
処理制御	自動処理条件管理システムにより処理条件を一定に制御し、自動補充システムで液を常に一定状態に維持することにより、優れた面内安定性・処理安定性を実現
処理槽容量	約５０Ｌ

製品ラインナップ

ＥＬ－ＧＰⅡ （新発売）
サイズ（本体）	幅２，２００ｍｍ×長さ３，０００ｍｍ×高さ２，６００ｍｍ
対応最大ワークサイズ	７１１ｍｍ（２８インチ）×８１３ｍｍ（３２インチ）
処理方式	カセット式ローダ・アンローダ（標準５枚）を装備し、２アーム搬送系で連続同時処理により、タクトタイムの短縮を実現
タクトタイム	約１０分／枚
処理制御	自動連続処理システム・自動処理条件管理システム自動補充システム
処理槽容量	約５０Ｌ

処理均一性

使用感材	･･･	ハイレゾリューションフォトプレート（508×610mm）
使用機器	･･･	ＥＬ－ＧＰⅠ
評価方法	･･･	レーザープロッターで全面露光し, 感材の有効領域内の光学濃度の面内分布で評価
現像条件	･･･	現像時間 5分, 現像温度 22℃
※皿現像処理では処理中常に手動でプレートを揺動

三菱製紙株式会社　総合研究所　つくばＲ＆Ｄセンター　　担当：中川
〒３００－４２４７　茨城県つくば市和台４６　ＴＥＬ　０２９－８６４－３５３０

Ｅ－Ｍａｉｌ：

コンパクトかつ高品位 ～ 省スペース・省液・省力化と同時に処理均一性を大幅に改善 Compact & High Quality ～ Saves Space, Chemical, Labor and Improves Process Uniformity